info@polaruslaser.ru +7 (499) 271-71-75 (доб.1015)
Скрайбирование кремния
Результаты эксперимента Polarus
15.04.2022
В апреле 2022 года была продемонстрирована возможность скрайбирования кремния пикосекундным волоконным лазером PL Beta.
Задача состояла в снятии слоя окисла кремния на кремниевой пластине, при этом были ограничения по размерам обрабатываемой области – глубина линии должна была быть менее 15 мкм, ширина должна была варьироваться от 20 до 100 мкм.
Задача состояла в снятии слоя окисла кремния на кремниевой пластине, при этом были ограничения по размерам обрабатываемой области – глубина линии должна была быть менее 15 мкм, ширина должна была варьироваться от 20 до 100 мкм.
Лазер PL Beta успешно справился с поставленной задачей ширина линии составила 20-30 мкм. Для получения линий до 100 мкм было выполнено несколько проходов с наложением линий.
Если у вас есть задача по микрообработке материалов, свяжитесь с нами. Мы проведем для вас демонстрацию работы лазера в вашем применении.
Если у вас есть задача по микрообработке материалов, свяжитесь с нами. Мы проведем для вас демонстрацию работы лазера в вашем применении.
